数字化气压调整粘片机拾取头压力的装置

摘要

数字化气压调整粘片机拾取头压力的装置，有固定台、与固定台相套的花键套和花键轴吸管，花键套和花键轴吸管动配合，花键轴吸管与固定台之间有压缩弹簧，固定台在与花键轴吸管同轴的位置还设有气缸体及配套的活塞，活塞与花键轴吸管固定连接，气缸的压缩空气腔通过管路与压缩空气源连通，管路还设置有计算机控制的电－气比例阀。其下压时压力大小可由计算机给出电－气比例阀的值大小来控制压缩空气的输出量控制，保证实现准确的下压力。

说明书

技术领域：本发明涉及芯片粘片机拾取头，特别是带有控制芯片粘片机拾取头压力的芯片粘片机拾取头装置。

背景技术：芯片粘片机的拾取头是将粘片机上的芯片拾起并放在框架或基板上，放上时给予一定量的压力，以便使芯片与框架或基板有更好的黏结。已有带有控制芯片粘片机拾取头压力的芯片粘片机拾取头装置，有固定台、与固定台的花键套相配合的花键轴吸管，花键轴吸管与固定台之间有压缩弹簧，传统的粘片机吸取头采用花键吸管上套弹簧来控制下压的压力，通过位移量来计算负载(压力)，难以形成数字化控制。更主要的是压缩弹簧随着使用次数就要变化，不能保证压力的准确性，影响装片质量，而且要经常调整弹簧压力，影响装片精度和质量。

发明内容：

本发明就是解决弹簧来控制下压的压力需要手工调整，难以形成数字化控制的技术问题，提供一种数字化气压调整粘片机拾取头压力的装置。

为了解决上述问题，为了实现低成本的数字化控制，本发明采用一种花键轴吸管上装活塞结构来以支持电-气系统的数字化控制。本发明解决技术问题所采取的技术方案参考图1，本发明的数字化气压调整粘片机拾取头压力的装置，有拾取头，拾取头有固定台、与固定台相套的花键套和花键轴吸管，花键套和花键轴吸管动配合，花键轴吸管与固定台之间有弹簧，花键轴吸管前端设置有吸取口，其特征在于：固定台在与花键轴吸管同轴的位置还设有气缸及配套的活塞，活塞与花键轴吸管固定连接，气缸的压缩空气腔通过管路与压缩空气源连通，管路设置有计算机控制的电-气比例阀。这样通过固定台设有气缸及配套的活塞，活塞与花键轴吸管同轴线连接，气源的压缩空气经过由计算机控制的电-气比例阀到达气缸内部时，将连接在花键轴吸管上的活塞浮起，根据计算机控制的电-气比例阀来控制浮起力度大小，来保证平衡固定台通过弹簧对花键轴及吸取口的施压，从而决定拾取头下压工件的压力。也就是说，压缩空气量和压力是根据与计算机通信的电-气比例阀来决定的，最终通过输入计算机的数值来决定拾取头的吸取口下压力。这样就能确保得到准确控制拾取头及吸取口的下压力，即使在使用过程也能保证固定台通过压缩弹簧对花键轴及拾取头施压的准确值。

附图说明：附图表示了本发明的一种数字化气压调整粘片机拾取头压力的装置结构示意图，图1为数字化气压调整粘片机拾取头压力的装置原理图；图2为气压调整粘片机拾取头的整体结构主视图，图3为气压调整粘片机拾取头的整体结构左剖视图；图4为气压调整粘片机拾取头的花键轴吸管、气缸体、活塞的局部具体结构示意图，图5为气压调整粘片机拾取头的花键轴吸管、气缸体、活塞的局部具体结构剖视图，图6为气压调整粘片机拾取头的整体结构立体图。下面结合附图的实例进一步说明。具体的结构见图3所示. 图中，1.吸取口  2.花键轴吸管  3.平衡弹簧  4.固定台  5.花键套  6.轴承  7.轴向限位块  8.衬套  9.气缸体  10.法兰衬套  11.旋转限位块  12.轴承  13.活塞  14.基壳  15.检测台  16.光电传感器  17.气路接头  18.管接头  19.软管。

具体实施方式

实施例一、如图1所示的一种本发明数字化气压调整粘片机拾取头压力的装置，有拾取头、油雾分离器27和电-气比例阀26，电-气比例阀的电控输入端与计算机25联接。拾取头(参见图2、图3、图4、图5)有固定台4、与固定台的花键套5动配合的花键轴吸管2，花键轴吸管与固定台之间有压缩弹簧3，固定台在与花键轴吸管同轴的位置还设有气缸体9及配套的活塞13，活塞与花键轴吸管固定连接。气缸的压缩空气腔带有进气口，进气口通过进气管路与压缩空气的气源连通，进气管路还设置着油雾分离器27和电-气比例阀26，电-气比例阀的电控输入端与计算机25联接，实现计算机控制的气缸体内的气压及活塞与压缩弹簧的平衡力，从而确保拾取头的花键轴吸管及吸取口下压芯片粘合的压力。

实施例二、本发明的一种数字化气压调整粘片机拾取头压力的装置，如图1、2、所示。由2.花键轴吸管、3.平衡弹簧、4.固定台、5.花键套、6.轴承、7.轴向限位块、8.衬套、9.气缸体、10.法兰衬套、11.旋转限位块、12.轴承、13.活塞组成了带有气动活塞的拾取头。花键轴吸管以上部位的部件全都是安装在吸管上部。法兰衬套安装在气缸体内。活塞靠顶丝固定在花键轴吸管上。活塞13能在法兰衬套10内旋转及上下运动，衬套8压入在气缸体9下孔内，阻止压缩空气泄露，法兰衬套10的法兰盖住气缸体9的上孔，当压缩空气从管接头18进入气缸体9内，会顶起活塞，而活塞带动花键轴吸管形成的吸取杆运动。气缸的压缩空气腔通过管路与压缩空气源连通，管路一端与气缸体9的接口连接，另一端与压缩气源连接。管路还设置有油雾分离器和电-气比例阀，电-气比例阀的电控输入端与计算机联接。花键轴吸管上端与气路接头套接，气路接头通过管接头与吸气的软管连通。在通过基壳和固定台4带动拾取头下压时，由平衡弹簧在花键轴吸管2卡位部对吸管及吸取口施加向下的力。此时，通过计算机控制电-气比例阀，控制压缩空气进入气缸体9驱动活塞的压力及活塞的位移运动，来控制平衡弹簧对花键轴吸管下压的压力，就可以达到控制吸取口向下的压力。即使在使用过程弹簧的性能指标发生变化，由于计算机控制电-气比例阀输出的压缩空气流量和压力是一定的，就能保持平衡弹簧对花键轴吸管下压的压力是一定的。这样结合计算机系统，便实现了数字化控制，有效保证了花键轴吸管下端的吸取口下压芯片的压力。