利用弹簧和平衡重的具有往复旋转运动的晶片扫描系统

摘要

本发明的目的在于加工工件的扫描设备和方法，其中扫描设备包含彼此固定耦合的晶片臂和移动臂，其中晶片臂和移动臂可以操作用来绕着第一轴旋转。末端执行器耦合至晶片臂，工件位于该末端执行器上。旋转传动轴使晶片臂和移动臂耦合至第一致动器，其中第一致动器向传动轴提供旋转力。动量平衡机构耦合至传动轴并且可以操作用来通常使传动轴的旋转方向反转。动量平衡机构包括一个或多个固定弹簧元件，所述的固定弹簧元件可以操作用来向耦合至移动臂的移动弹簧元件提供力。控制器还可以操作用来在预定的扫描范围内保持末端执行器的通常恒定的平移速度。