利用计算机对非球面检验光学系统进行调整的方法

摘要

本发明针对利用计算机对非球面检验光学系统进行调整的方法。首先完成系统光路的粗装调，然后实时采集一幅干涉图，获得被检非球面镜的波像差，利用赛德尔像差多项式作为基底拟合获得被检非球面镜失调引入波像差，根据拟合波像差与失调引入波像差的相互对应关系得到失调量的数值，利用计算机控制调整机构实现系统精确定位。再采集一幅干涉图，当干涉条纹为“零”条纹时，则调整结束；否则，对新采集的干涉图拟合计算失调量并且重新调整，直至调整结果满足要求。本发明结合了光学系统的检验、检验结果的数据分析处理以及优化算法、实现了微小平移量和转动量的控制与精确调整，使调整过程在理论指导下可视、定量、有序地完成，提高了干涉检验的效率。