一种黏结硅部件专用的硅和氧化硅复合黏结剂

摘要

本发明公开了一种结合两硅部件(30、32)的方法、使用于此方法的该黏结剂(44、46)、以及该结合制品，特别是一种硅塔(10)，用以支撑数个硅晶片(22)。调制一能够流动的黏结剂，其含有粒径小于100μm、最好小于100nm的硅颗粒(44)和二氧化硅交联剂，例如旋涂玻璃(spin－on glass)，其可形成硅酸盐玻璃(46)。尺寸约20nm的纳米硅微晶可以使用CVD来形成。较大颗粒可由碾磨初始聚硅得到。必要时，可以添加如品醇等比重大、不溶于水的醇类作为延缓剂，以降低黏结剂在室温的凝结速度。该混合物应用于结合部位。组装该硅部件并在足够连接二氧化硅的温度下进行退火，若是纳米硅，最好为900℃~1000℃，经碾磨的硅须要更高的温度。