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激光烧蚀装置和使用该装置制备纳米粒子的方法

摘要

本发明提供了一激光烧蚀装置和一种使用该装置制备纳米粒子的方法。所述激光烧蚀装置包括:其内具有一放电区的反应室;设置于反应室内并且其上安装有一靶的基座;一激光发生器,其通过用激光束轰击靶引起等离子体放电,以在放电区产生正电荷和负电荷;以及一高压发生器,其通过在一暴露于等离子体放电的预定位置施加一正偏压将等离子体放电产生的负电荷吸引到该预定位置。

著录项

  • 公开/公告号CN1743124A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2006-03-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星电子株式会社;

    申请/专利号CN200510073725.4

  • 发明设计人 李姝玹;姜闰浩;

    申请日2005-05-20

  • 分类号B23K26/00;G01N1/00;

  • 代理机构北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人马高平

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2023-12-17 16:59:29

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-11-04

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2007-09-26

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-03-08

    公开

    公开

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