首页> 中国专利> 用于操作皮秒成像电路分析/高电流源系统的方法、系统和设备

用于操作皮秒成像电路分析/高电流源系统的方法、系统和设备

摘要

本发明提供了用于操作皮秒成像电路分析(PICA)/高电流源系统的方法、系统和设备,包括将来自高电流脉冲源的脉冲施加到被测器件(DUT)。光传感器探测来自DUT的光子发射。使用来自光传感器装置的信号来映射来自DUT的光子发射。数据处理装置使光子发射与DUT的特定特征相关。

著录项

  • 公开/公告号CN1677120A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2005-10-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 国际商业机器公司;

    申请/专利号CN200510059824.7

  • 申请日2005-03-31

  • 分类号G01R31/311;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;

  • 代理机构11247 北京市中咨律师事务所;

  • 代理人于静;杨晓光

  • 地址 美国纽约

  • 入库时间 2023-12-17 16:38:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-08-26

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2005-11-30

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-10-05

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号