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公开/公告号CN1677120A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-10-05
原文格式PDF
申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN200510059824.7
发明设计人 N·P·珊达;S·H·沃尔德曼;A·J·韦格;
申请日2005-03-31
分类号G01R31/311;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人于静;杨晓光
地址 美国纽约
入库时间 2023-12-17 16:38:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-08-26
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-11-30
实质审查的生效
2005-10-05
公开
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