半导体设备的SECS－Ⅱ至XML资料转换方法及资料转换装置

摘要

一种半导体设备的SECS－II至XML资料转换方法，主要是在一自动化控制计算机及至少一半导体设备之间，以一资料转换装置取得符合半导体设备通讯标准的SECS－II讯息，并个别标定该SECS－II讯息所具有的复数SECS项目，接着分析所标定的各该SECS项目以抽取出感兴趣的SECS项目，然后判断所抽取的各该SECS项目之间的相依性，将具有相依性的该等SECS项目加以配对，最后结合所有配对后的该等SECS项目，将其转换输出XML资料，用以监控半导体设备的各种状态。