法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-06
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):E21C 41/00 授权公告日:20121031 终止日期:20171118 申请日:20101118
专利权的终止
2012-10-31
授权
授权
2012-10-31
授权
授权
2011-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):E21C41/00 申请日:20101118
实质审查的生效
2011-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):E21C 41/00 申请日:20101118
实质审查的生效
2011-04-27
公开
公开
2011-04-27
公开
公开
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机译: 用于保持静电基板的保持器包括相同的分层结构,该分层结构包括支撑层,电极层和覆盖层,其中支撑表面与分层结构厚度的几何比具有指定值
机译: 一种用于测量多层结构上覆盖材料和液体的非接触厚度和光学性质的传感器系统。
机译: 一种用于测量多层结构上覆盖材料和液体的非接触厚度和光学性质的传感器系统。