用于低相干性测量和高相干性测量的干涉仪设备及方法

摘要

斐索型干涉仪设备用于低相干性测量和高相干性测量。在利用低相干光通量辐照参考面和样本时，光程匹配通道把低相干光通量分成第一光程和第二光程，而传输通过这两个光程的各自光通量之间光程长差等于参考面与样本之间光程的两倍。在利用高相干光通量辐照参考面和样本时，在与低相干光通量同轴的位置上，使高相干光通量入射到光程匹配通道的样本侧。