钨硅闸极选择性侧壁氧化期间最小化氧化钨蒸气沉积之方法

摘要

在包含一多晶硅层以及一钨层之闸极结构之选择性氧化期间，其本身已知，氧化钨之蒸气沉积系借着一特殊处理被预防或至少大大地减少。闸极结构借着一含氢，非水溶液的惰性气体在一氢/水混合物之处理步骤之前，如果恰当，在之后来起作用。