法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/66 授权公告日:20061115 终止日期:20190718 申请日:20010718
专利权的终止
2010-08-11
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/66 变更前: 变更后: 登记生效日:20100705 申请日:20010718
专利申请权、专利权的转移
2006-11-15
授权
授权
2003-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-10-15
公开
公开
机译: 执行最终临界尺寸控制的方法和装置
机译: 基于比色法的特征临界特征尺寸控制方法和装置
机译: 执行最终临界尺寸控制的方法和装置