法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-03-14
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2005-08-24
授权
授权
2003-10-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-07-23
公开
公开
机译: 立方氮化硼晶体的多晶氮化物烧结多晶坯的生产方法,以得到用于立方氮化硼晶体的微晶的电子设备坯中的导热材料导热体及其获得方法
机译: 制造III族氮化物微凝集物的方法,制造氮化镓微晶体凝集物,III族氮化物微凝集物的方法和溅射靶
机译: 制造微晶半导体膜的方法,具有微晶半导体膜的薄膜晶体管以及具有微晶半导体膜的光电转换装置