法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-07
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01J 9/02 授权公告日:20121107 终止日期:20131126 申请日:20091126
专利权的终止
2012-11-07
授权
授权
2010-07-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 9/02 申请日:20091126
实质审查的生效
2010-05-19
公开
公开
机译: 用于将干涉仪修改为定量双通道相位正交干涉仪的设备和测量方法,以及由此修改的迈克尔逊干涉仪
机译: 用于平面测量的相移干涉仪的光学相位控制器及其相同的光学相位控制方法,以及具有光学相位控制程序的存储介质
机译: 多波长干涉仪的相位评估方法,涉及将用于干涉仪设备的物体图像与用于干涉的参考图像放置以测量物体表面