获得远紫外辐射的方法和远紫外辐射源,及其在光刻中的应用

摘要

根据本发明,至少用一个固体靶(28),通过与聚焦在靶的第1面(30)的激光束的彼此作用,该靶发射远紫辐射。该靶从对置面37出发可以发射辐射部分,并且这部分被收集和传输。