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一种基于导模共振结构设计的高分辨率角度测量方法

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摘要

本发明涉及一种基于导模共振结构设计的高分辨率角度测量方法，制作导模共振滤波器，通过测试得到导模共振滤波器特有固定的S值，利用导模共振滤波器对于入射光的角度敏感性来实现高分辨率的角度测量，为精密测量提供了另一途径。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-06-04

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 9/10 授权公告日:20120919 终止日期:20180608 申请日:20110608

专利权的终止
2012-09-19

授权

授权
2012-09-19

授权

授权
2011-11-30

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B9/10 申请日:20110608

实质审查的生效
2011-11-30

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 9/10 申请日:20110608

实质审查的生效
2011-10-19

公开

公开
2011-10-19

公开

公开

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1. 一种基于导模共振结构设计的高分辨率角度测量方法 [P] . 中国专利： CN102221328B . 2012.09.19
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3. METHOD FOR GUESSING SURFACE RESISTANCE OF SUPERCONDUCTIVE FILM, METHOD FOR GUESSING SURFACE IMPEDANCE OF SUPERCONDUCTIVE FILM, METHOD FOR GUESSING Q-VALUE OF SUPERCONDUCTIVE THIN FILM RESONANCE CIRCUIT, DEVICE FOR GUESSING SURFACE RESISTANCE OF SUPERCONDUCTIVE FILM, AND METHOD FOR MANUFACTURING SUPERCONDUCTIVE DETECTOR [P] . 日本专利： JP2011060793A . 2011-03-24

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4. Angle sensor utilizing a guided-mode resonance, systems, and methods [P] . 日本专利： JP2011513745A . 2011-04-28

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