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公开/公告号CN1244836A
专利类型发明专利
公开/公告日2000-02-16
原文格式PDF
申请/专利权人 美孚石油公司;
申请/专利号CN98802072.6
发明设计人 E·M·芒特第三;J·R·小瓦格纳;
申请日1998-01-19
分类号B32B7/10;B32B15/04;B32B15/08;B32B15/20;B32B27/08;B32B27/32;B32B31/16;B32B31/30;H05H1/24;
代理机构上海专利商标事务所;
代理人白益华
地址 美国弗吉尼亚州
入库时间 2023-12-17 13:33:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2003-04-30
发明专利申请公布后的视为撤回
2000-02-23
实质审查请求的生效
2000-02-16
公开
机译: 通过真空金属化对聚对苯二甲酸乙二酯组成的薄膜进行金属化的方法
机译: 互连半导体集成电路中的铝金属化层-涉及在第一铝层上形成阻挡层,并依次形成钛层,阻挡层和铝层作为第二金属化
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