一种多元硬质涂层及其电磁增强磁控溅射制备工艺

摘要

一种多元硬质涂层及其电磁增强磁控溅射制备工艺，其中电磁增强磁控溅射技术是在磁控溅射阴极套装电磁线圈，多组阴极非平衡磁场形成闭合磁场，与中心阳极形成正交电磁场，提高溅射粒子的离化率；多元硬质涂层包括：打底过渡层、功能层、覆盖层，电磁增强磁控溅射可增大溅射区域，加宽溅射沟道，还可增大闭合磁场的磁场强度，有利于提高溅射粒子的离化率；闭合磁场不仅增加了电子的自由程，提高等离子体密度，提升清洗效率及效果，而且可极大的提高溅射粒子的离化率，从而实现辅助沉积，提升涂层的结合力。