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用于远紫外波段带外杂散光差分测量的滤光片轮及方法

摘要

本发明公开了一种用于远紫外波段带外杂散光差分测量的滤光片轮及方法,所述滤光片轮包括轮盘(1),所述轮盘(1)上设置四个圆孔和通孔(2);四个圆孔中,第一个圆孔中安装LBH带通滤光片与石英晶体滤光片的组合滤光片,第二个圆孔中安装LBH带通滤光片,第三个圆孔中安装135.6nm带通滤光片,第四个圆孔中安装石英晶体滤光片。本发明既保证仪器的高灵敏度,又保证白天数据不饱和,同时实现带外杂散光的抑制及消除。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J3/02 申请日:20190110

    实质审查的生效

  • 2020-07-17

    公开

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