用于独立单晶机械和光学部件生产的单晶金刚石零件生产方法

摘要

本发明涉及独立单晶金刚石零件和单晶金刚石零件生产方法。该方法包括以下步骤：‑设置单晶金刚石基板或层；‑在基板或层上设置第一附着层；‑在第一附着层上设置第二附着层；‑在第二附着层上设置掩模层；‑穿过掩模层以及第一和第二附着层形成至少一个凹陷或多个凹陷，以露出单晶金刚石基板或层的一个或多个部分；以及‑蚀刻单晶金刚石基板或层的露出的一个或多个部分，并且完全蚀刻穿过单晶金刚石基板或层。