一种自测试MEMS热电堆红外探测器

摘要

本发明提供的自测试MEMS热电堆红外探测器，包括衬底及层叠设置于其表面的支撑层，支撑层背离衬底的表面设置有热电堆组件及红外吸收单元，红外吸收单元与热电堆组件接触以实现两者热连通，热电堆组件和红外吸收单元之间设置有电绝缘结构；还包括自检部件，当其施压端外接电源及接地端接地时，其产生的热量通过红外吸收单元传导至热电堆组件使之产生电势差，从而可以得到热电堆的电学响应率；通过将两次施压得到的电学响应率差值与响应率差值预设阈值对比，即可判断器件是否正常工作，从而实现了MEMS热电堆探测器自测试功能避免使用专门设备进行测试，有效降低了测试成本，减少了器件测试过程的耗时，使器件的使用更加便利。