一种通过激光多次扫描烧蚀在工件表面加工可控微沟槽的方法

摘要

针对现有激光烧蚀工艺难以精准控制加工三维形貌的问题，本发明提出一种通过激光多次扫描烧蚀在工件表面加工可控微沟槽的方法，在工件表面加工出横截面形状精准可控，形貌底部平滑的表面特征，属于高能束特种加工领域。首先，根据目标三维形貌，计算激光扫描路径；然后，对待加工平整工件表面，以规划的激光扫描路径完成激光烧蚀加工。本发明适用于诸如超构表面、微模具制造、生物芯片、柔性电子电路等对表面形貌或性能具有特殊要求的场景。