公开/公告号CN111390657A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-10
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡易通精密机械股份有限公司;
申请/专利号CN202010308530.8
发明设计人 易阳;
申请日2020-04-18
分类号
代理机构北京睿博行远知识产权代理有限公司;
代理人张燕平
地址 214174 江苏省无锡市惠山区堰桥路35号6幢、16幢
入库时间 2023-12-17 09:46:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-10
公开
公开
机译: 滚动轴承外圈的抛光设备和抛光机
机译: 抛光设备,抛光工艺,用于执行机械抛光工艺的控制程序以及记录介质
机译: 制造半导体设备的方法,该方法能够获得具有均匀厚度的抛光表面,并通过使用浆液进行高抛光抛光以形成化学机械抛光工艺,从而最佳地改善大面积的平面度