公开/公告号CN111325920A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-23
原文格式PDF
申请/专利权人 上海探能实业有限公司;快备新能源科技(上海)有限公司;
申请/专利号CN202010084047.6
申请日2020-02-10
分类号G07F17/12(20060101);G06Q50/06(20120101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 201101 上海市闵行区七莘路1366号第9幢102室
入库时间 2023-12-17 09:42:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G07F17/12 申请日:20200210
实质审查的生效
2020-06-23
公开
公开
机译: 制造方法的管理方法及备件更换件管理装置的备件更换,备件管理网络系统,以及备有用于执行管理方法的程序的备件计算机可读记录介质
机译: 备件监视器的数量,备件监控系统的数量,备件管理方法的数量以及备件管理程序的数量
机译: 扁平型等离子诊断设备件型等离子诊断设备,配备平面等离子诊断设备静电卡盘嵌入平面等离子体诊断系统中。 本研究是一种材料创新计划(NRF)材料创新计划(1711120490 / 2020M34A3106004),由科学和技术信息和通信部门提供支持。委托为51%)韩国国家科技研究协会(NST)研发 同盟计划(1711062007 / CAP-17-02-NFRI-01)由Kriss支持。