限制平面量子器件中的垂直连接的超导谐振器

摘要

一组超导器件互连在网格中，该网格在单个二维制造平面中制造，使得超导连接只能通过跨过也位于该平面中的第二超导器件的组件到达该组中的第一超导器件，而同时保持在该平面中。在第一超导器件的超导连接中形成具有跨度和间隙高度的超导耦合器件。超导耦合器件的一部分通过平行平面中的间隙与第二超导器件的组件分离。使用超导耦合器件将组件的第一侧上的第一接地平面的电势与组件的第二侧上的第二接地平面均衡。