一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统

摘要

本发明公开了一种线性分置式斯特林制冷机的真空系统，包括上法兰、下法兰、窗框、SMA接口、引线接口、THz窗片、连接法兰和真空隔膜阀以及真空泵，通过THz窗片的设计，使得该真空系统可以照射THz波，所设计的真空系统，能够满足THz实验的需求，在将制冷机系统抽至低真空范围的同时，还能满足高温超导器件测试的需求，保证真空系统密闭性，使得系统达到要求真空度的时间变快，系统的热传导变小，保证低真空度的同时，减轻真空系统的重量，减小系统的体积。