空气静压导轨及空气静压导轨的控制方法

摘要

本发明提供了一种空气静压导轨，所述空气静压导轨包括导轨、设置在所述导轨上侧的顶板、设置在所述导轨下侧的底板、设置在所述导轨两侧的两个侧板、气控组件，所述顶板、底板和侧板上均设有气道和节流器，所述节流器设置在气道靠近所述导轨的一侧，所述气控组件包括控制板和多个进气接口，多个所述进气接口与所述气道连接，以向所述气道内注入空气，所述顶板和底板上的气道相互独立，所述控制板控制进入空气压力以改变所述顶板和底板与所述导轨之间的气膜厚度。本发明的空气静压导轨，可以对运行的底板和顶板进行运动补偿，适合高精度的检测。