一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法

摘要

本发明公开了一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法，属于硅片输送设备技术领域。本发明的硅片载盘推齐定位装置，其载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；载盘定位单元包括载盘推齐机构和载盘定位机构，载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件。载板推齐机构用于推齐载板；第二推齐件用于推齐载盘；载盘定位机构调整载盘位置和角度，使载盘能够准确定位在上料位，方便于将硅片放入相应的载盘，且能有效地防止硅片的边沿与载盘发生接触和磕碰而损坏。本发明的载板输送系统及输送方法，上料效率和输送效率高，所输送的硅片不易发生损坏。