一种低接触面积的台板式高压超声波干式清洗机

摘要

本发明公开了一种低接触面积的台板式高压超声波干式清洗机，包括高压清洗头装置、低接触面积的台板装置、升降支架装置和内组装机架装置，本发明通过高压清洗头出风口气流压力≥20Kpa的高压气流来回清洗玻璃基板，能够有效的提高颗粒去除率，通过阴刻槽减小台板本体与玻璃基板的接触面积，并与台板装置上的的吸附槽的配合，将接触的比例降低到43％，使得清洗过程中产生的静电量少，提高了玻璃基板的清洗能力和清洗效率，整个清洗机结构简单、设计合理，能够实现低接触面积的台板在高压清洗机上的应用。