一种金红石型110取向TiO2单晶的处理工艺

摘要

本发明属于单晶表面处理领域，具体涉及一种金红石型110取向TiO2单晶的处理工艺，通过此工艺流程能够将金红石型110取向TiO2单晶处理出原子级台阶，台阶的高度与平整性均达到高质量薄膜生长的工艺要求。具体实施需要的设备包括超声波清洗仪和管式炉，流程包括有机溶剂超声波清洗、强酸刻蚀、氧氛围下退火。该流程能够在高效且低成本的方式下得到平整的金红石型110取向TiO2单晶表面，并且通过严格控制合适的刻蚀时间和退火温度，能够在大的斜切角平面内，得到平整的原子台阶。该工艺能够解决单晶切割质量较低时，无法获得高质量的原子级平整台阶的问题。