一种基于微悬臂梁共振激发的光压力值测量装置及方法

摘要

本发明公开一种基于微悬臂梁共振激发的光压力值测量装及方法，装置包括底座、二维纳米微动台、多普勒激光干涉仪、噪声温度计、调制激光器、频谱分析仪和PTC陶瓷加热器，底座上依次设置有三个固定支架，第三固定支架的顶端通过连接板安装有调制激光器；第二固定支架上通过固定板安装有二维纳米微动台，二维纳米微动台上设有温度计固定结构，温度计固定结构上活动设置有噪声温度计；第一固定支架的顶部设有微悬臂梁基底，微悬臂梁基底的末端安装有微悬臂梁探针；多普勒激光干涉仪放置于调制激光器下方的底座上，多普勒激光干涉仪的两侧分别通过固定支架和固定板安装有频谱分析仪和PTC陶瓷加热器；频谱分析仪上设有用于与微悬臂梁探针相连的探头。