散热结构、带散热结构的体声波谐振器、滤波器和电子设备

摘要

本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置，所述顶电极具有主体部以及与主体部连接的连接部；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；所述谐振器还包括至少一个流道，所述流道围绕所述有效区域设置，所述流道内适于流动冷却流体。本发明还涉及一种具有上述谐振器滤波器，一种具有该滤波器的电子设备、一种半导体器件的散热结构。