一种MOCVD制程含氨尾气制氢的非催化渗透性膜反应器及应用

摘要

本发明公开了一种MOCVD制程含氨尾气制氢的非催化渗透性膜反应器及应用，由含活性组分钴10~30%（w/w）、钼5~20%（w/w），含助催化组分镧1~10%（w/w），含促进剂钾1~5%（w/w），及含经预处理的碳纳米管（CNTs）35~83%（w/w）所组成的催化剂颗粒，装填于由氧化铝为支撑体上涂覆有金属钯膜层的陶瓷膜管内，形成填充于膜管内的催化剂固定床层的非催化渗透性膜反应器（PBCMR，Packed Bed Catalytic Membrane Reactor），MOCVD制程含氨尾气经预处理后进入膜反应器内，在反应温度为400~600℃，反应压力为1.0~3.0MPa下进行氨热裂解催化反应，反应气经吸附精制脱氨、变压吸附提纯及金属吸气剂纯化，得到纯度大于6~7N的氢气产品，返回到MOCVD制程中循环使用，为LED产业绿色与循环经济发展填补了空白。