机械与激光复合精密加工模具微型腔的装备及其方法

摘要

本发明涉及机械与激光复合精密加工模具微型腔的装备及方法，包含用于机械铣削微型腔的数控机床以及用于精密加工微型腔的超快激光精密加工装置，所述数控机床上设有用于固定凹模板的支撑夹具，所述超快激光精密加工系统包含激光器、用于成像采集的三维共聚焦成像模块以及用于图像分析的成像处理系统，激光器的输出光路上依次布置有光闸、衰减器和1/4波片，1/4波片的输出光路衔接扫描振镜，扫描振镜输出端布置聚焦镜，聚焦镜正对于支撑夹具；三维共聚焦成像模块朝向支撑夹具，三维共聚焦成像模块与成像处理系统通讯连接，成像处理系统与激光器通讯连接。先机械粗铣削，再由共聚焦三维视觉检测配合超快激光进行在线精密加工模具微型腔。