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一种材料舱外互检式暴露装置

摘要

本发明涉及一种材料舱外互检式暴露装置,包括间隔设置的暴露装置一和暴露装置二,所述暴露装置一和暴露装置二均包括:承力机构,承力机构上安装有若干试验箱和光学巡检装置,若干试验箱分别设置在所述承力机构四周,若干所述试验箱合围成一与承力机构外部连通的光学巡检通道,所述光学巡检装置安装在所述光学巡检通道内;底座,承力机构安装在底座上方中部并能够相对底座转动;旋转机构,旋转机构安装在底座和承力机构之间,用于驱动所述承力机构及其上的试验箱和光学巡检装置在相对于底座旋转;其中,暴露装置一旋转时,暴露装置二上的光学巡检装置对暴露装置一上的试验箱暴露面进行光学巡检。本发明的暴露装置,可利用两个暴露装置相互检测。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/84 申请日:20191231

    实质审查的生效

  • 2020-05-01

    公开

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