基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置

摘要

本发明公开了一种基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置。该装置主要由白光光源、光谱仪、准直器、光纤传输单元、PC组成。基于白光干涉法，可以实现对晶圆膜厚的无损测量，时间快、设备小巧、操作简单、精度高，适合实验室检测。