公开/公告号CN111060524A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-24
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州微微视视觉科技有限公司;
申请/专利号CN201811204791.4
发明设计人 王莹;
申请日2018-10-16
分类号
代理机构苏州国卓知识产权代理有限公司;
代理人薛芳芳
地址 215131 江苏省苏州市相城区太平街道济民路34号
入库时间 2023-12-17 08:04:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/95 申请日:20181016
实质审查的生效
2020-04-24
公开
公开
机译: 具有均匀无规晶体学取向的细晶粒,无条纹,难熔金属溅射靶材,这种薄膜的制造方法以及基于薄膜的器件和由其制成的产品
机译: 具有均匀随机晶向的精细晶粒,无边界,难熔金属溅射靶材,制造这种薄膜的方法以及基于薄膜的设备和产品
机译: 具有均匀无规晶体学取向的细晶粒,无条带,难熔金属溅射靶材,这种薄膜的制造方法以及基于薄膜的器件和由其制成的产品