用于竖式炉的衬里和凸缘的组件及衬里和竖式炉

摘要

提供了一种用于处理衬底的竖式炉的衬里和凸缘的组件。衬里构造成在竖式炉的处理管的内部中延伸，且凸缘构造成至少部分地封闭衬里开口。衬里包括基本上圆柱形壁，其由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于衬里开口上方的气体基本上封闭，并且限定内部空间。凸缘包括：入口开口，其构造成插入和移除构造成在衬里的内部空间中承载衬底的舟皿；向内部空间提供气体的气体入口。组件构造并且布置成具有气体排放开口以从内部空间以及衬里与低压管之间的空间移除气体。