法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-21
著录事项变更 IPC(主分类):G01N21/88 变更前: 变更后: 申请日:20151216
著录事项变更
2020-06-26
著录事项变更 IPC(主分类):G01N21/88 变更前: 变更后: 申请日:20151216
著录事项变更
2020-05-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 申请日:20151216
实质审查的生效
2020-04-14
公开
公开
机译: 布线基板检查装置及布线基板检查方法,各向异性导体粘贴装置及各向异性导体粘贴方法
机译: 基板支撑装置,基板支撑方法,基板加工装置,基板加工方法,制造用于显示装置的部件的方法,检查装置和检查方法
机译: 用于检查基板保持部件的变形的检查装置,检查方法和非暂时性存储介质以及包括该检查装置的基板处理系统