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公开/公告号CN110926668A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201911354320.6
发明设计人 林琳;刘瑞琪;王迪;郜晨希;郑旭;远雁;李超波;
申请日2019-12-24
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人方丁一
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-12-17 07:21:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/24 申请日:20191224
实质审查的生效
2020-03-27
公开
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