一种聚合物前驱体陶瓷薄膜RTD及其制备方法

摘要

本发明涉及一种聚合物前驱体陶瓷薄膜RTD及其制备方法，聚合物前驱体陶瓷薄膜RTD包括基底、位于基底上的陶瓷薄膜敏感元件、由陶瓷薄膜敏感元件引出的第一引线焊点、第二引线焊点，以及分别第一引线焊点、第二引线焊点连接的第一引线和第二引线，所述陶瓷薄膜敏感元件由掺有纳米铝粉、纳米二硼化钛、纳米二硼化锆的至少一种前驱体陶瓷薄膜制成，所述第一引线、第二引线与第一引线焊点和第二引线焊点的连接都是通过银浆烧结来实现的，以解决现有的陶瓷薄膜RTD工作温度有限以及制备复杂的问题。