取向特性测定方法、取向特性测定程序及取向特性测定装置

摘要

取向特性测定系统(1)具备：照射光学系统(5)，其朝向配置于透明性基板(S1)上的试样照射激发光；检测光学系统(11)，其引导自试样发出的荧光；光检测器(13)，其检测荧光；旋转机构(9)，其变更试样的荧光出射侧的面的垂线与检测光学系统(11)的光轴(L2)所成的角(φ)；及计算机(15)，其计算试样的取向参数(S)；计算机(15)具有：旋转机构控制部(32)，其控制旋转机构(9)；分布取得部(34)，其将光强度的角度依赖性分布标准化而取得光强度的角度依赖性分布；区域特定部(35)，其基于光强度的角度依赖性分布而特定出极大区域的光强度；及参数计算部(36)，其基于由试样的膜厚及折射率决定的线性关系及极大区域的光强度而计算取向参数(S)。