基于混合型等离子体结构的平板式等离子体发生装置

摘要

基于混合型等离子体结构的平板式等离子体发生装置，包括左右两侧分别带有供气口和排气口的放电容器，在放电容器内部自上而下一次设置交流脉冲电源、与其相连接的等离子体放电总成以及下方的可更换式工作平台。首先通过可拆卸式下保护壳的拆卸区域送入被放置物件并固定在物件夹具中，通过交流脉冲电源为放电提供放电电压，通过供气口和排气口向放电容器中通入工作气体并根据处理要求控制容器内部的气压。本发明同时适用于大气压和低气压环境，应用范围广泛。