一种基于柔性衬底的共面波导及制作方法

摘要

本发明公开了一种基于柔性衬底的共面波导及制作方法，具体结构为层式结构，从下至上依次为柔性衬底(3)、高介电常数介质层(4)、第一、第二GND金属层(11)、(12)以及它们之间设置的传输线金属层(2)，其中，所述传输线金属层(2)包括共面波导输入端和共面波导输出端；采用一种新型的电路结构设计以及制备工艺，在柔性PET衬底上采用磁控溅射的方法涂上一层高介电常数钛酸钡介质层作为微带线介质层。通过HFSS设计优化共面波导结构参数，通过ADS仿真得到版图设计，采用磁控溅射高介电常数介质层，光刻后金属蒸发生长技术。本发明使得柔性器件在大规模集成电路中的应用提供了可能；在柔性射频集成电路的制作与智能穿戴领域具有广泛的应用前景。