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在光谱仪中为样品提供尺寸可变的孔径的装置

摘要

一种用于为成像装置提供尺寸可变的孔径的设备(19)包含第一板(22)和第二板(30),所述第一板具有延伸穿过所述第一板的第一多个板孔径(24),所述第二板具有延伸穿过所述第二板的第二多个板孔径(32)。第一电动机(20)可操作地连接到所述第一板,且第二电动机(26)可操作地连接到所述第二板。所述第一和第二电动机被配置成使所述第一板和所述第二板相对于彼此移动,以使所述第一多个板孔径中的任一者与所述第二多个板孔径中的任一者对准,以限定多个光束孔径。

著录项

  • 公开/公告号CN110869724A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-03-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 热电科学仪器有限公司;

    申请/专利号CN201880046168.2

  • 发明设计人 J·M·科芬;

    申请日2018-07-13

  • 分类号

  • 代理机构上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人江漪

  • 地址 美国威斯康星州

  • 入库时间 2023-12-17 06:47:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J3/28 申请日:20180713

    实质审查的生效

  • 2020-03-06

    公开

    公开

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