公开/公告号CN110676196A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-10
原文格式PDF
申请/专利权人 青岛航天半导体研究所有限公司;
申请/专利号CN201910955897.6
申请日2019-10-09
分类号
代理机构山东重诺律师事务所;
代理人贾巍超
地址 266000 山东省青岛市市南区福州北路10号
入库时间 2023-12-17 06:47:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20191009
实质审查的生效
2020-01-10
公开
公开
机译: 用于键合半导体元件的键合机,键合机的操作方法以及用于改进此类键合机上的UPH的技术
机译: 用于键合半导体元件的键合机,键合机的操作方法以及用于改进此类键合机上的UPH的技术
机译: 用于键合半导体元件的键合机,操作键合机的方法以及在这种键合机上改善UPH的技术