公开/公告号CN110797278A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-14
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201810863896.4
发明设计人 宋新丰;
申请日2018-08-01
分类号
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人彭瑞欣
地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2023-12-17 06:47:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20180801
实质审查的生效
2020-02-14
公开
公开
机译: 区域特定环境提供控制系统,环境环境提供设备,任务环境提供设备,区域特定环境提供控制方法和区域特定环境提供控制程序
机译: 产生开孔微环境的方法和设备,该开孔微环境用于用冲击喷雾处理基材
机译: 产生开孔微环境的方法和设备,该开孔微环境用于用冲击喷雾处理基材