一种用于镀膜的冷阴极电子枪装置

摘要

一种用于镀膜的冷阴极电子枪装置，包括室外枪体组件和室内偏转线圈组件，室外枪体组件的电子枪壳体的外部一端安装固定套环、另一端通过法兰固定在真空室壁上，并与真空室内的室内偏转线圈组件连接；电子枪壳体的内部一端设有阴极组件、另一端设有阳极组件，阴极组件通过绝缘子与固定套环连接，阴极组件包括导电套环，水冷散热器和金属阴极，金属阴极的一端内凹形成反球面、另一端嵌入陶瓷套筒，陶瓷套筒中设有六硼化铼阴极，水冷散热器的内部设置环形水冷通道。本发明可使阴极组件寿命大幅提高，从而减少更换频率，提高镀膜质量。