一种组分可调无机钙钛矿光电薄膜及其低温制备方法和器件应用

摘要

本发明属于新型半导体材料制备及器件技术领域，具体公开了一种组分可调无机钙钛矿薄膜及其低温制备方法和器件应用。步骤如下：将CsX以及AB溶于有机溶剂中，搅拌均匀得到前驱体溶液；将所得前驱体旋涂在导电基底上；再将制膜进行退火处理，随后将样品转至原子沉积系统进行离子交换反应，得到组分精准可调的无机钙钛矿光电薄膜，并成功应用于光伏器件中。本发明方法解决了传统溶解度低问题，提高了薄膜均匀性致密性，且采用原子层沉积温度远低于200℃，不仅适用于硬质基底也适用于柔性基底，更利于实现无机钙钛矿卤族元素配比精准调控；此外前驱体均为无机物，解决了薄膜导电性差的问题，对无机钙钛矿薄膜制备及器件应用有重要意义。