表面态增强的高电流密度动态肖特基发电机及其制备方法

摘要

本发明涉及可循环能源收集技术领域，公开了一种表面态增强的高电流密度动态肖特基发电机及其制备方法，该发电机自下而上依次为金属电极、半导体衬底、表面粗糙层、金属，金属电极与半导体衬底为欧姆接触，金属与半导体衬底为肖特基接触，所述的表面粗糙层是对半导体衬底一侧抛光面采用粗糙处理所形成的具有粗糙形貌的表面层，金属直接压在表面粗糙层上，二者接触并可相对移动，形成表面态增强的高电流密度动态肖特基发电机。该发电机结构工艺简单，原材料成本较低，同时突破了传统半导体物理框架，为利用肖特基势垒中的表面态提供了直接证据。