一种新型脊形波导结构及制作方法

摘要

本发明提出了一种新型脊形波导结构及制作方法，具体的制作方法包括以下步骤，S1，在激光器结构材料上制作波导掩膜条；S2，利用腐蚀液I，腐蚀掉波导掩膜条外侧的重掺杂顶接触层；S3，利用腐蚀液II，在InP覆盖包层上腐蚀出倒台结构，所述倒台结构的高度为InP覆盖包层厚度的2/3~4/5；S4，利用腐蚀液III，在剩余的InP覆盖包层上腐蚀出直台结构；S5，除去波导掩膜条。本发明通过改变倒台脊形波导的结构，保持了倒台结构相对于直台结构的主要优点，既提高了注入电流的汇聚和钳制作用，又消除了倒台底部的锐角，解决了绝缘介质膜和电极金属膜层在倒台底颈部易断裂而造成器件失效的问题。